【関連製造部門】
ワコム製作所: 石英ガラス製品(ASM Epsilion石英部品、各種加工品)、シリコーンゴム製品、半導体装置用部品、ラッピング・ポリッシング用キャリア
トムコ: ウエハ移換機、IPA蒸気乾燥装置、部品再生洗浄、部品加工
天谷製作所: 常圧CVD装置、フォトマスク洗浄装置
【環境関連】ソーラ用Siウエハ、セパレーター&クリーニングシステム、ワイヤーソークーラント回収システム、酸化セリウム回収システム、スラリーリサイクルシステム、IPAリサイクルシステム、水質分析計、無機系凝集剤オイルフロック
【素材・部品関連】コバレントマテリアル製品 (石英ガラス、SiC、カーボン)、ファインセラミックス、マシナブルセラミックス、各種フィルター、その他半導体装置用消耗部品、シリコーン樹脂、耐火物、各種ヒーター関連